1、MPD晶圓測試
測試設備:脈沖(chong)激光源表P300+探頭(tou)臺
異常現象:測試中存(cun)在一個3nA左右的漏電流
異常原因:測試現(xian)場的連接線(xian)屏(ping)蔽層接地不達標(biao),外界電磁環境的作用(yong)下使設(she)備(bei)對大(da)地的電位發生變化,造成設(she)備(bei)工作不穩定 優化措施:將屏蔽層接地 2、三極管測試 測試設備:2臺直(zhi)流電(dian)源表S300+探頭臺 異常現象:源表(biao)輸出0-3V的(de)電(dian)(dian)壓(ya)掃描(miao),當輸出的(de)電(dian)(dian)壓(ya)小于0.5V時,源表(biao)回(hui)讀的(de)電(dian)(dian)壓(ya)值為-0.5V 越來越根本原因:檢(jian)測器(qi)臺不(bu)能保(bao)護接地,檢(jian)測器(qi)臺結構設計上來源(yuan)于輕金(jin)屬,在感應起電的(de)區(qu)域下易來源(yuan)于人(ren)體(ti)靜(jing)電,而使對(dui)檢(jian)查導(dao)致帶去(qu)直接影(ying)響 優化系統保障措施:將測試探針臺使用電纜線應(ying)用沃土 3、芯片測試 測試設備:直流電源表S300+測(ce)試探針臺(tai) 異常現象:源表(biao)未所在,電(dian)極冒電(dian)火花
圖:出現異(yi)常各種測試-探頭冒小火花
異常原因:三同定位軸線纜GUARD警報浮空。GUARD警報如無線連接準確,其電勢與警報層常見同步,因此 漏電太小,最終得以對警報具有半個定的保護角色;其實GUARD警報浮空,其與警報層的電勢差較大的,這些漏電較大的,對警報的的影響較大 優化措施:將GUARD表(biao)(biao)現連入(ru)源表(biao)(biao),使(shi)GUARD表(biao)(biao)現達到(dao)保護的意義
4、PD測試
測試設備:直(zhi)流源表S300+探針臺(tai)
異常現象:源表在100nA的量程下,輸出-2V電(dian)壓,實際顯(xian)示(shi)-2.69V
圖:不正確測驗畢竟
異常原因:客戶使用的同軸線接觸不良,探針臺沒有接地 優化措施:更(geng)換新的同軸線,將探針臺通過導(dao)線接入大地 圖:改善后測試結果
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