1、前言

        在光電電子電子元器件電子電子元器件和集成式控制電路生產工藝中，原原料、晶圓、電源芯片的測評儀是必不能不少的緩解。因為光電電子電子元器件電子電子元器件測評儀水平的未來發展，字母源表SMU搭配探頭臺的控制系統組和就已經 被普遍適用于原原料/小電子電子元器件的電學優點確認中。字母源表SMU擁有源測基本功能，會導致電流大小-電阻(I-V)優點弧度，是光電電子電子元器件電子電子元器件原原料、電子電子元器件電能力表現測量的重點；探頭臺有半重新、半重新和全重新四種，跟據測評儀是需要抉擇整套搭配的護膚品就可以了。在適用時是需要提前準備探頭的材料包括針尖的截面積與模樣，探頭材料其他，其特性阻抗是不同樣；還有就是，探頭尖破損和廢棄物也會對測評儀結果顯示會導致影向。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT無線連接圖示

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢測(ce)器(qi)臺與(yu)源表(biao)的(de)無線(xian)(xian)銜(xian)接(jie)典型有哪幾(ji)種(zhong)，一(yi)種(zhong)生(sheng)活運用同(tong)中(zhong)線(xian)(xian)無線(xian)(xian)銜(xian)接(jie)，別的(de)種(zhong)生(sheng)活運用三(san)同(tong)中(zhong)線(xian)(xian)無線(xian)(xian)銜(xian)接(jie)。當(dang)量測(ce)小交(jiao)流電(dian)(nA、pA)時，應運用三(san)同(tong)軸(zhou)轉(zhuan)移版塊和三(san)同(tong)中(zhong)線(xian)(xian)纜。在傳輸源表(biao)防護(hu)的(de)高端的(de)測(ce)評三(san)極管中(zhong)，主要是(shi)(shi)因為三(san)同(tong)軸(zhou)的(de)防護(hu)的(de)層與(yu)內芯(xin)間(jian)是(shi)(shi)等(deng)電(dian)勢差，不有 漏交(jiao)流電(dian)產(chan)生(sheng)，就能的(de)提(ti)升小交(jiao)流電(dian)測(ce)評精確。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2接地；3內攔截層；4里邊層；5外攔截層；6外絕緣護套）

圖：三同軸網纜等效電路原理圖

  上圖隨時為三同定位軸電線電纜等效電路系統圖，模擬輸出中低端HI和Guard中間的電位差差可以說為0，可以解決電線電纜自己的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S國產直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸對接器與尋常兩芯對接器有點與眾不同，可時接駁數據衛星的的信號、一定接地和閉屏層，閉屏操作管用。和多芯線材比起來，三同基準面材設備構造簡單易行，靠普性好；和兩芯同基準面材比起來，極具越高的閉屏機械性能和小數據衛星的的信號的文件傳輸特性。三同基準面材的對接模式操作了GUARD數據衛星的的信號，做到了閉屏角色，更影響于小數據衛星的的信號的在測量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

運用杜邦線轉BNC母頭完成對接；

- 三同軸連接 -

實用三同軸呼叫轉移模組進行對接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

一直使用的三同水平線實施相連；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將平凡的三同軸換掉為超高壓通用型三同中心線；直流高壓力三同軸連接線頭的抗壓的能力過強，普賽斯操作的直流高壓力三同軸連接線頭可以抗壓3500V。

圖(tu)：左(zuo)-高壓(ya)變(bian)壓(ya)器三(san)同(tong)軸、右-正(zheng)規三(san)同(tong)軸

HCPL 100大電流源表

大電壓大小量估測時，單根探頭允許值的電壓大小量非常有限，電壓大小量過大機會會造成燒針跡象，干擾測評報告單，以至于要選擇多探頭電容串聯。

圖：多測試探針串聯舉手

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面工業相連關心

圖(tu)：異面電極片(pian)相連圖(tu)示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)結(jie)構上有很(hen)多金屬(shu)，在(zai)帶(dai)(dai)電(dian)(dian)的(de)(de)環境下會存(cun)在(zai)很(hen)強(qiang)的(de)(de)靜電(dian)(dian)，一(yi)(yi)(yi)般探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)會自(zi)帶(dai)(dai)大地(di)(di)連接(jie)(jie)(jie)(jie)線(xian)，使用中(zhong)將探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)接(jie)(jie)(jie)(jie)大地(di)(di)，避免釋放靜電(dian)(dian)給測試帶(dai)(dai)來影響。一(yi)(yi)(yi)般地(di)(di)線(xian)分為(wei)兩類：一(yi)(yi)(yi)種是(shi)(shi)工作(zuo)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)，另(ling)一(yi)(yi)(yi)種是(shi)(shi)安(an)全性接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)。工作(zuo)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)是(shi)(shi)把金屬(shu)導體(ti)銅塊埋(mai)在(zai)土壤里， 再通過導線(xian)引(yin)出地(di)(di)面，將導線(xian)接(jie)(jie)(jie)(jie)入設備的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)端口，形成接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)回(hui)路(lu)。 安(an)全性接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)是(shi)(shi)指使用探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)金屬(shu)外殼自(zi)帶(dai)(dai)的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)線(xian)進行接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)，當(dang)探(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)金屬(shu)外殼發生絕(jue)緣(yuan)損(sun)壞，外殼帶(dai)(dai)電(dian)(dian)時，電(dian)(dian)流沿著其外殼自(zi)帶(dai)(dai)的(de)(de)接(jie)(jie)(jie)(jie)地(di)(di)線(xian)接(jie)(jie)(jie)(jie)入大地(di)(di)，以達到安(an)全的(de)(de)目的(de)(de)。

-連接線接地：探(tan)針臺的(de)(de)連接(jie)線(xian)(xian)(xian)為同(tong)軸線(xian)(xian)(xian)，兩根同(tong)軸線(xian)(xian)(xian)的(de)(de)內芯是(shi)信號(hao)線(xian)(xian)(xian)，從而導(dao)致兩根同(tong)軸線(xian)(xian)(xian)的(de)(de)外(wai)(wai)屏蔽(bi)(bi)層懸空，未起到(dao)屏蔽(bi)(bi)的(de)(de)作(zuo)用，在磁(ci)場環境(jing)復雜的(de)(de)情況(kuang)下(xia)會對測試(shi)產生較大的(de)(de)干(gan)擾(rao)。因此，為了獲得較好(hao)的(de)(de)測試(shi)效果，需要將同(tong)軸線(xian)(xian)(xian)纜(lan)的(de)(de)外(wai)(wai)屏蔽(bi)(bi)層接(jie)入工(gong)作(zuo)地線(xian)(xian)(xian)。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏(min)感(gan)，測試(shi)(shi)中如(ru)果(guo)不關閉光源會影響(xiang)測試(shi)(shi)結(jie)果(guo)，所以測試(shi)(shi)時盡量在無光源影響(xiang)的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試(shi)電流為(wei)pA級(ji)別，需要給探針臺增加屏(ping)蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電(dian)極(ji)材料(liao)連接(jie)時通常會使用探針臺Chuck盤做電(dian)極(ji)，但(dan)是Chuck盤的平整度會對材料(liao)的接(jie)觸(chu)面有影響，那(nei)么此時就需(xu)要使用引(yin)電(dian)極(ji)。